自動平衡、無須校正靜電消除設備

正、負自動平衡 AlphaBoost lonizer設備



 
    正、負自動平衡AlphaBoost Ionizer設備    



● 自動平衡正、負放電離子(zero balance)
● 可連續操作使用一年、無須校正
● 不需清潔放電針尖、沒有particle污染問題
● 使用Po-210元素產生ionization 可用於一般生產環境、或機台設備中
● 快速Decay time < 6 sec @ 12”50fpm
● 適合超潔淨16nm或更先進製程環境要求：Low swing voltage、No particles產生
● 獲晶圓大廠、及各先進製程設備與機台採用的靜電消除裝置






Controller



Puck




 
AlphaBoost Ionizer：

● 依使用需求最大可串接4組heads
● 可應用於常溫0~80oC或大溫度範圍(-55~165oC)
● 可應用於較遠距離


P-2001 Linear 2.25m Ci per inch, Size from 4 inch to 144 inch





P-2042 Nuclespot 正、負自動平衡lonizer




    P-2042 Nuclespot正、負自動平衡Ionizer    



● 自動平衡正、負放電離子(zero balance)
● 可連續操作使用一年、無須校正
● 不需清潔放電針尖、沒有particle污染問題
● Activity: 5mCi (185 MBq)
● 輕小型Alpha ionizer重量14g，直徑3.2cm 適合安裝於機台內部ionization應用
● Decay Time:1.2 S (1,000~100V @1.5")
● 獲晶圓大廠tsmc、及各先進製程設備與機台採用的靜電消除裝置


P-2042 Nuclespot ionizer安裝示意圖

 
    Alpha Ionizer系列    


● 風扇Ion blower
● 靜電棒Linear ionizer
● 氣槍型Air Gun Kit support N2/CDA Gas .Ionizer
● AlphaBoost Ionizer


Alpha ionizer設計與alpha particle產生原理



Alpha ionizer輻射量安全性紙片即可阻絕alpha ion穿透