千謄半導體設備製造開發有限公司

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LED專用機高溫磷酸蝕刻機.

◆製程溫度可達350°C
◆全自動供酸/補酸/精密配酸。
◆環控流場式熱酸氣排放。
◆提供陶瓷遠紅外線及薄膜式加熱選擇。
◆線上補酸配比監控(option)。
◆可選配PC Base。