8~12自動塗佈機
◆DC伺服馬達
◆轉速5000rpm±1rpm
◆加速度1000rpm/sec2
◆定量精度±3%
相關產品
-
高溫磷酸蝕刻製程機(全自動)
●Wet PSS (Pattern Sapphire Substrate) ●Sidewall Etch/ LBR ◆全自動供酸/補酸/精密配酸。 ◆陶瓷遠紅外線加熱模組(可加熱至600°C) ◆環控流場式熱酸氣排放。 ◆熱酸排再啟動製程2.5小時完成。 ◆自動化機械手臂全程監控。 ◆高溫排放閥選用德製EM-TECHNIK(保固兩年)。
-
LED專用機 MOCVD全自動清洗機
◆可同時清洗Aixton(德)/Veeco(美)MOCVD零件。 ◆針對廠區內有多台MOCVD零件清洗設計。 ◆高溫蝕刻製程200°(去除有機金屬氧化物)。 ◆全自動機台操作安全、清洗效率最高、產能最大。
-
LED專用機高溫磷酸蝕刻機.
◆製程溫度可達350°C ◆全自動供酸/補酸/精密配酸。 ◆環控流場式熱酸氣排放。 ◆提供陶瓷遠紅外線及薄膜式加熱選擇。 ◆線上補酸配比監控(option)。 ◆可選配PC Base。
