千謄半導體設備製造開發有限公司

LED專用機 MOCVD全自動清洗機

◆可同時清洗Aixton(德)/Veeco(美)MOCVD零件。
◆針對廠區內有多台MOCVD零件清洗設計。
◆高溫蝕刻製程200°(去除有機金屬氧化物)。
◆全自動機台操作安全、清洗效率最高、產能最大。

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