◆可同時清洗Aixton(德)/Veeco(美)MOCVD零件。 ...
◆製程溫度可達350°C ◆全自動供 ...
◆適用2”~4”wafer/GaAs/Sapphire。 ◆ ...
特性: ◆DC伺服馬達 ◆轉速8000rpm& ...
適用製程: ◆顯影/去光阻/蝕刻/有機/ ...
特性: ◆省藥特性 30min/1cc ◆塗佈 ...
◆LED專用自動光阻塗佈製程機。
◆DC伺服馬達 ◆轉速5000rpm±1rpm ...
●Wet PSS (Pattern Sapphire Substrate) ●Sidewall Etch/ LBR ...
有任何產品問題,歡迎來電03-54038 ...
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