奇勗科技股份有限公司

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去光阻機

1.多樣式去除技術

■ 特殊噴嘴設計，超高的去除率。（特別針對頑固特性的光阻）

■ 溶劑使用量少，有效控制成本。

■ Soaking Disc，預先針對特殊光阻做前置軟化。

2.非接觸式傳送

3.雙面清洗室設計

■ 在晶圓反面形成水膜。

■ 晶圓正反面可同時清洗。