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CMP 廢水回用是什麼？半導體廠降低廢液成本的關鍵技術
什麼是 CMP 廢水？為什麼晶圓廠最頭痛它？ CMP是把晶圓表面「磨平」的關鍵製程。就像家具要先打磨才能上漆，晶圓在堆疊好幾層線路結構之後，也必須先磨到平整，才能繼續做下一層。為了把奈米級的表面磨得又平又乾淨，業者會在研磨墊和晶圓之間注入...