產品名稱: Chemical Filters(化學過濾器) 外框材質: 鋁框或其他材質 外框尺寸: 皆可客製化製做 應用於: PRODUCTION TOOL -黃光區曝光機或光配項機台設備 產品名稱: FFU Chemical Filters(化學過濾器) 外框材質: 鋁框或其他材質 外框尺寸: 皆可客製化製做 應用於: 僅用於FFU,裝在無塵室 去酸去鹼、去除VOC、H2S、O3與其他