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E-Series

E-Series Panel Type

介紹

產品名稱: Chemical Filters(化學過濾器)
外框材質: 鋁框或其他材質
外框尺寸: 皆可客製化製做
應用於: PRODUCTION TOOL              -黃光區曝光機或光配項機台設備 
 


產品名稱: FFU Chemical Filters(化學過濾器)
外框材質: 鋁框或其他材質
外框尺寸: 皆可客製化製做
應用於: 僅用於FFU,裝在無塵室
              去酸去鹼、去除VOC、H2S、O3與其他