1 進氣壓力0.2~0.4Mpa, 流量0~25L/M(分鐘) 2 進氣口為8mm 3 磁吸式把手、5MM強化玻璃 4 可放置產品：12吋FOSB、FOUP 5 溫濕度顯示 6 溫濕度監測記錄功能 7 節氮功能 8 警報提醒功能