1.多樣式去除技術 ■ 特殊噴嘴設計，超高的去除率。（特別針對頑固特性的光阻） ■ 溶劑使用量少，有效控制成本。 ■ Soaking Disc，預先針對特殊光阻做前置軟化。 2.非接觸式傳送 3.雙面清洗室設計 ■ 在晶圓反面形成水膜。 ■ 晶圓正反面可同時清洗。
