光譜式模厚量測儀
Ellipso Technology
Elli-SE 光譜式橢圓偏振儀
高效能膜厚量測系統，最高可量測10層薄膜(依材料性質而異)，單層厚度sub Å – 10mm(依材料性質而異)。非破壞性、高解析度且量測時間短，適用於半導體、OLED、高分子、太陽能…等相關研究及材料厚度檢測。
系統特性
光源: 氘燈 + 鹵素燈
入射角: 55˚ – 90˚
光點大小: 1.5mm
量測層數: 最多10層(依材料性質而異)
量測厚度範圍: sub Å – 10mm(依材料性質而異)
再現性: ± 0.3 Å
載台尺寸: 6英吋
選配功能: CCD數位相機(影像觀測)、XY自動掃描載台、12英吋樣品載台、5秒快速量測套件(因材料性質而定)
應用:
Semiconductor : Si, Ge, ONO, ZnO, AZO, PR, poly-Si, GaN, GaAs, Si3N4
Display(incl. OLED) : MgO, ITO, PR, NPB, Alq3 , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS
Dielectrics : SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, Wet oxides
Polymer : Dye, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR
Chemistry : Organic film(OLED) & LB Thin film
Solar cell : SiN, a-Si, poly-Si, SiO2, Al2O3
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