電漿反應系統 Femto Science Etching System 電漿蝕刻系統 腔體尺寸: 9.2英吋 功率: 300W, 13.56 MHz 氣體管路: 最多6組 控制器: 7吋觸控面板，自動/手動控制 設備尺寸: 680 × 1100 × 1300 (W × D × H, mm)
