電漿反應系統 Femto Science Coating System 水平式腔體: 203 Dia. × 440 L, mm 垂直式腔體: 300 Dia. × 400 L, mm 蒸發器溫度: 最高200˚ C 腔體溫度: 最高1000˚ C 控制器: 7吋觸控面板，自動/手動控制 設備尺寸: 1500 × 800 × 1180 (W × D × H, mm)
