電漿反應系統 Femto Science CVD Graphene 腔體尺寸: 55 Dia. × 1300 L, mm 腔體溫度: 最高1200˚ C 功率: 300W, 20 – 100 KHz 控制器: 7吋觸控面板，自動/手動控制 設備尺寸: 1750 × 700 × 1200 (W × D × H, mm) 選配套件: 300W RF產生器
