IUV-303 特點
IUV-303 特點：
● 可在低真空環境下(10 -3 ～ 1,000 torr)或N2Gas中進行 ionization靜電消除。
● 利用氣體分子的multi-photon absorption現象產生ionization。
● 快速的Decay Time： Offset voltage：0 volt。
● Low maintenance僅需每2,000~3,000小時更換UV Lamp。
● 可應用於：HDD Al media Sputtering、LCD Glass CVD process chamber、Touch panel ITO sputtering...等製程機台靜電消除。
LCD Glass CVD Process
SEM e-Beam Process
HDD Al Media Sputtering