正、負自動平衡 AlphaBoost lonizer設備       正、負自動平衡AlphaBoost Ionizer設備     ● 自動平衡正、負放電離子(zero balance) ● 可連續操作使用一年、無須校正 ● 不需清潔放電針尖、沒有particle污染問題 ● 使用Po-210元素產生ionization 可用於一般生產環境、或機台設備中 ● 快速Decay time < 6 sec @ 12”50fpm ● 適合超潔淨16nm或更先進製程環境要求：Low swing voltage、No particles產生 ● 獲晶圓大廠、及各先進製程設備與機台採用的靜電消除裝置 Controller Puck   AlphaBoost Ionizer： ● 依使用需求最大可串接4組heads ● 可應用於常溫0~80oC或大溫度範圍(-55~165oC) ● 可應用於較遠距離 P-2001 Linear 2.25m Ci per inch, Size from 4 inch to 144 inch P-2042 Nuclespot 正、負自動平衡lonizer     P-2042 Nuclespot正、負自動平衡Ionizer     ● 自動平衡正、負放電離子(zero balance) ● 可連續操作使用一年、無須校正 ● 不需清潔放電針尖、沒有particle污染問題 ● Activity: 5mCi (185 MBq) ● 輕小型Alpha ionizer重量14g，直徑3.2cm 適合安裝於機台內部ionization應用 ● Decay Time:1.2 S (1,000~100V @1.5") ● 獲晶圓大廠tsmc、及各先進製程設備與機台採用的靜電消除裝置 P-2042 Nuclespot ionizer安裝示意圖       Alpha Ionizer系列     ● 風扇Ion blower ● 靜電棒Linear ionizer ● 氣槍型Air Gun Kit support N2/CDA Gas .Ionizer ● AlphaBoost Ionizer Alpha ionizer設計與alpha particle產生原理 Alpha ionizer輻射量安全性紙片即可阻絕alpha ion穿透

無塵第三方測試 專業無塵室第三方(3rd party)測試合於 ISO-14644/ NEBB測試規範要求   服務範圍： ●半導體、面板、光電、IC封裝測試 ●製藥廠、生技、醫院、生物安全操作台 飲料、食品、生醫美容保養 提供專業完整的第三方(3rd party)無塵、無菌室測試服務 服務項目： ●濾網氣流速度測試 ●濾網洩漏測試、濾網PAO效率測試 ●照度、噪音、壓差、溫溼度 ●潔淨度測試、回復力測試 ●地板導電度測試、防靜電材料測試 ●氣流可視化測試 ●高壓氣體測試…等各項測試服務 生物安全操作台       生物安全操作台     符合Class II Type A2/B2 及NSF/ANSI 49國際認証標準H14等級HEPA過濾網，效率達99.999% (0.3um)；搭配氣壓式壓力感知器即時調控氣流，30%外排、70%循環；或100%排出兩機型可選擇   高壓氣體潔淨度檢測     高壓氣體潔淨度檢測       ● MLPC-101HP偵測範圍：0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、2.0、3.0、5.0 μm ● 取樣流量 0.1 SCFM ● 測量壓力 40~150 PSI ● 0.1μm之Sensitivity at 0.1CFM直接量測高壓氣體particle潔淨度，如: N2、Argon、XCDA…等各式惰性氣體。 DP207 MLPC 110HP

簡介  

超音波黏度計  

超音波濃度計   超音波黏度計  

IUV-303 特點       IUV-303 特點：     ● 可在低真空環境下(10 -3 ～ 1,000 torr)或N2Gas中進行 ionization靜電消除。 ● 利用氣體分子的multi-photon absorption現象產生ionization。 ● 快速的Decay Time： Offset voltage：0 volt。 ● Low maintenance僅需每2,000~3,000小時更換UV Lamp。 ● 可應用於：HDD Al media Sputtering、LCD Glass CVD process chamber、Touch panel ITO sputtering...等製程機台靜電消除。   LCD Glass CVD Process SEM e-Beam Process HDD Al Media Sputtering

特點效能     安全防護     產品規格與選用     ESC MONITORING    

LCD Cassette卡匣清洗機     APR板超音波清洗機     注液晶後清洗機&再配像機台     超音波精密零件清洗機    

AOI檢查設備   AOI檢查設備

LCD面板乾蝕刻設備  

全氟化&高氟產品系列    全氟化&高氟產品系列   表面處理能力   Surface Roughness   耐電漿特性   Material Performance   耐熱特性   Comparison of Heat Resistance   耐藥特性   Comparison of Chemical Resistance ◆ 耐藥特性- 對乙醚類、胺類、酮類、氧化劑、有機溶劑、 燃料、酸、鹼等大部份的藥品，皆呈現極佳的穩定性。

充電式/電池式晶圓真空吸筆/Die小型吸筆     靜電防治儀器系列    

GZ-600     GZ-88     GZ-1800     WY-300