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各式鍍膜晶圓

各式鍍膜晶圓 (Film coating)

介紹

鍍膜種類,厚度 (可依客戶需求)
大量製作或者研發量級均可

低介電low-K
Black Diamond
CORAL
SiON

金屬層Metal
Ta,Ti,Cr,Cu
Al,AlCu,AlSi,TiCu,Ag,NiPdAu

氧化層Oxide
Thermal SiO2
PE-SiO2
PE-TEOS
LPCVD-TEOS