鍍膜種類,厚度 (可依客戶需求) 大量製作或者研發量級均可 低介電low-K Black Diamond CORAL SiON 金屬層Metal Ta,Ti,Cr,Cu Al,AlCu,AlSi,TiCu,Ag,NiPdAu 氧化層Oxide Thermal SiO2 PE-SiO2 PE-TEOS LPCVD-TEOS