◆DC伺服馬達 ◆轉速5000rpm±1rpm ◆加速度1000rpm/sec2 ◆定量精度±3%
●Wet PSS (Pattern Sapphire Substrate) ●Sidewall Etch/ LBR ◆全自動供酸/補酸/精密配酸。 ◆陶瓷遠紅外線加熱模組(可加熱至600°C) ◆環控流場式熱酸氣排放。 ◆熱酸排再啟動製程2.5小時完成。 ◆自動化機械手臂全程監控。 ◆高溫排放閥選用德製EM-TECHNIK(保固兩年)。
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