金屬剝離機
1.多樣式去除技術
■ Soaking Disc,預先針對特殊光阻做前置軟化。
■ 噴頭型式的選擇。
■ 製程腔體的搭配。
2.非接觸式傳送
3.雙面清洗室設計
■ 在晶圓反面形成水膜。
■ 晶圓正反面可同時進行製程。
1.多樣式去除技術
■ Soaking Disc,預先針對特殊光阻做前置軟化。
■ 噴頭型式的選擇。
■ 製程腔體的搭配。
2.非接觸式傳送
3.雙面清洗室設計
■ 在晶圓反面形成水膜。
■ 晶圓正反面可同時進行製程。